Пост канала
- фото
🇯🇵🇦🇹 Австрийская компания EV Group и японская компания NTT-AT адаптировали наноимпринтную литографию для серийного изготовления оптических структур Компании подтвердили совместимость процесса SmartNIL компании EVG с УФ-отверждаемыми полимерными материалами NTT-AT с высоким показателем преломления. Разработка предназначена прежде всего для изготовления волноводов устройств дополненной реальности, в которых методом наноимпринтной литографии формируют дифракционные решетки и другие оптические наноструктуры. В испытаниях использовали материал NH762 серии NH700 и рабочий штамп EVG NIL UV/AS5. Были воспроизведены: 🔹 структуры «линия/зазор» с размером элементов 350 нм; 🔹 наклонные под углом 45° дифракционные решетки; 🔹 метаоптические элементы с минимальным размером 65 нм. 🔬 По данным компаний, дефектов и деформации рисунка при формировании этих структур не выявлено. В серии из 25 последовательных циклов импринтинга изменение высоты рельефа составило около 2,2%, что подтверждает стабильность воспроизведения и отделения штампа от полимерного слоя. После испытаний при повышенной температуре и влажности, а также светового воздействия геометрия структур изменилась незначительно. 📊 Материалы серии NH700 после отверждения имеют показатель преломления 1,8–1,9 при толщине пленки от 200 нм до 1 мкм. Высокий показатель преломления позволяет формировать более компактные оптические структуры и эффективнее управлять распространением света в волноводах AR-устройств. Практический результат работы заключается в предварительно проверенной совместимости материала, штампа и процесса наноимпринтной литографии. По оценке компаний, это должно сократить этапы подбора материала, испытаний надежности и отработки процесса при подготовке серийного производства AR-оптики. 🤝 Компании продолжат испытания других материалов этой серии на том же наноимпринтном оборудовании. Помимо AR-волноводов, технология рассматривается для изготовления метаоптики, компонентов LiDAR и оптических датчиков. #ЭлМаш #технологии
Открыть в MAX- Просмотры
- 201
- ER
- 1,0%
- Реакции
- 2